| 品牌 | 昊量光電 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS
SIOS雙光束激光干涉儀SP 5000 DS用于需要同時獲取運動角度和長度信息的測量任務。該干涉儀的測量原理基于 SP 5000 NG 測量設備。
兩個測量激光束使用同一頻率的共用激光器的光。兩個測量光束之間的間距經過高精度校準。測量光束之間的平行度至關重要。
如果兩個光束使用同一個反射器，通過形成差值，可在運動中高精度地測量和計算角度。如果兩個光束獨立運行，則可進行差分測量。
對于差分測量的長期穩定性有特別高要求的情況，我們推薦使用 SP 5000 DI 系列干涉儀。
需要同時獲取另一個角度的測量任務，可使用三光束 SP 5000 TR 干涉儀來完成。
雙光束激光干涉儀可同時進行精確的長度和角度測量
·高精度的靈活長度測量系統
·角度檢測精度高
·易于調整和操作
·可使用多種光學反射器，例如球面反射器、平面鏡反射器
·測量反射器允許傾斜角度高達±12.5°
·緊湊型結構
·傳感器頭有鋁、不銹鋼或因瓦合金材質可供選擇
·光束間距：標準12毫米，其他規格可定制
·可提供OEM版本、OEM軟件和真空版本
·豐富的觸發選項
SIOS雙光束激光干涉儀的規格表
| System parameter | SP 5000 DS |
| Measuring range | 0 m to ≥ 5 m |
| Resolution | 20 pm* |
| Angular measuring ranges with reflector with plane mirror (recommended distance ≤2 m) | ±12.5° ** ±430 µrad |
| Angular resolution (at 0.1 nm length resolution) | 0,01 µrad*** |
| Beam distances (horizontal and vertical) | 12 mm |
| Wavelength | 632.8 nm |
| frequency stability of the HeNe laser(after warm-up time) | 2E-8 |
| Warm-up time of the HeNe laser | 10...20 min |
| Operating temperature range | 15...30°C |
| Max. dISPlacement speed of measuring reflector | 3 m/s |
| Geometric Data | |
| Dimensions (L x W x H): Sensor head with adjustable mount Electronic evaluation and supply unit EU | [199 x 134 x 68] mm [450 x 400 x 150] mm |
| Mass: Sensor head with adjustable mount Electronic evaluation and supply unit EU | 1.6 kg ca. 8 kg |
| Elektronische Daten | |
| Interfaces standard other interfaces on request (/R) | RS232C, USB |
| Cable length between sensor head and electronics unit | 3 m, optionally up to 10 m |
| Power supply | 100...240 VAC / 47...63 Hz |
| Laser safety class according to EN 60825-1:2014 and ANSI Z136.1 (CDRH) | 2M II |
| *in frequency domain **rotary point dependent ***least significant bit (LBS) | |
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