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WildFire-ONE：面內(nèi)導(dǎo)率測(cè)量系統(tǒng)（SDTR）
熱反射面內(nèi)熱導(dǎo)率測(cè)量系統(tǒng)基于“泵浦-探測(cè)"原理，采用空間域熱反射法（Spatial Domain Thermal Reflection，縮寫(xiě)為：SDTR），能夠準(zhǔn)確測(cè)量從薄膜到塊體材料的完整的面內(nèi)熱導(dǎo)率張量。系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，操作簡(jiǎn)便，特別適合大批量快速測(cè)量。
系統(tǒng)概述
現(xiàn)代工業(yè)中，亞毫米級(jí)小尺寸樣品熱物性測(cè)量的需求激增。常規(guī)熱導(dǎo)率測(cè)量技術(shù)如激光閃光法、平面熱源法、穩(wěn)態(tài)法無(wú)法滿足亞毫米級(jí)小尺寸樣品的測(cè)量需求。該測(cè)量系統(tǒng)基于熱反射原理，采用高度聚焦的連續(xù)波激光進(jìn)行測(cè)量，為準(zhǔn)確測(cè)量亞毫米級(jí)小尺寸樣品的熱物性提供了一個(gè)易于操作、性價(jià)比高的解決方案。
空間域熱反射技術(shù)（SDTR）主要是基于“泵浦-探測(cè)"技術(shù)和光熱反射技術(shù)。其的原理為：使用探測(cè)光束對(duì)以固定頻率周期性調(diào)制的泵浦光斑加熱區(qū)域進(jìn)行空間掃描探測(cè)（或固定探測(cè)光斑，掃描泵浦光斑），利用光熱反射原理測(cè)量樣品表面溫度場(chǎng)的振幅和相位的空間分布信息，進(jìn)而對(duì)傳熱模型進(jìn)行擬合，zui終得出樣品的（縱向、及面內(nèi)）熱導(dǎo)率等熱物性信息。其優(yōu)勢(shì)是對(duì)面內(nèi)可以進(jìn)行非常全面的面內(nèi)熱物性分析。
但傳統(tǒng)的SDTR技術(shù)普遍存在的一個(gè)問(wèn)題，和FDTR一樣它需要對(duì)絕對(duì)的相位誤差進(jìn)行校準(zhǔn)。我們WildFire-ONE面內(nèi)導(dǎo)率測(cè)量系統(tǒng)則創(chuàng)新性的使用相位差信號(hào)替代相位信號(hào)重新建模進(jìn)行擬合，這項(xiàng)技術(shù)（發(fā)明專(zhuān) li號(hào): ZL 2021 1 1527522.3）可以有效的避免相位校準(zhǔn)過(guò)程中帶來(lái)的誤差，提高測(cè)量精度。
此外值得一提的是，我們WildFire-ONE面內(nèi)導(dǎo)率測(cè)量系統(tǒng)還集成了光斑自動(dòng)測(cè)量功能，從而大大的降低了擬合模型因光斑直徑參數(shù)輸入不準(zhǔn)確而導(dǎo)致的測(cè)量不確定。熱導(dǎo)率測(cè)量誤差≤5%，光斑尺寸測(cè)量誤差≤2%。
1、電源需求：110/220 VAC, 50/60 Hz, 15 Amp
2、激光波長(zhǎng)：泵浦638 nm，探測(cè)785 nm（標(biāo)配，可根據(jù)用戶需求選配）
3、激光功率：泵浦100 mW，探測(cè)20 mW（標(biāo)配，可根據(jù)用戶需求選配）
4、調(diào)制頻率范圍：標(biāo)配DC-5MHz，可升級(jí)到50MH，200MHz
5、顯微成像：標(biāo)配，可觀察樣品表面狀況及激光光斑位置
6、測(cè)溫范圍：標(biāo)配室溫，可增配80-500 K、300-1200 K、4-300 K等不同溫區(qū)的變溫模塊
7、軟件：全自動(dòng)數(shù)據(jù)測(cè)量與分析處理、數(shù)據(jù)導(dǎo)出、報(bào)告生成
以X切石英晶體為例:
上海市徐匯區(qū)虹梅路2007號(hào)6號(hào)樓3樓
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